장비리스트(안)

	분 야	장비명	용 도
1	분말공통 시생산 라인	젯밀 및 건식 분쇄	1차 조분쇄 및 중분쇄
2		나노밀 및 습식 분쇄	미분쇄
3		분무 건조기(수계/비수계)	응집 방지 건조
4		볼 밀 (50리터)	슬러리 제조
5		5리터 바스켓 밀	슬러리 제조
6		15리터 바스켓 밀	슬러리 제조
7		코터 (폭 500mm)	그린시트 제조
	정전척 제조
8		시트 절단기	그린시트 절단
9		레이저 펀처	그린시트 홀 가공
10		대면적 인쇄기 (900×900 ㎜)	대면적 회로패턴 인쇄
11		인쇄기(450×450 ㎜)	회로패턴 인쇄
12		대면적 반자동 적층기(400×430 ㎜)	대면적 그린시트 적층
13		수동 적층기(200×200 ㎜)	그린시트 적층
	벌크 세라믹
14		대면적 압착기	대면적 그린바 압착
15		블레이드 커터	그린바 절단
16		탈바인더 오븐(Max.600℃)	그린바 탈지
17		대면적 고온 소결로	대면적 세라믹 기판 소결(산화분위기)
18		수소분위기 소결로	산화 방지 및 세라믹 소결용 수소 분위기로
19		대면적 환원분위기 소성로	대면적 세라믹 기판 동시소성
	쿼츠
20		고진공 브레이징로	반도체용 정전척 기판과 샤프트 접합
21		대형 Hot Press	정전척, 히터 등의 난소결소재의 고온가압소결
22		대형제품 등방향 성형기	상압소결에 필요한 성형체 제조를 위한 등방향 가압성형기
23		대형 전기로	쿼츠튜브 등의 대형제품 열처리 용
24		대형 잔류 응력 측정 시스템	석영유리 부품의 잔류응력 평가 장치
25		PVD 1	에처, CVD 등 챔버내 부품 표면코팅
26		e-beam evaporator	에처, CVD 등 챔버내 부품 표면코팅
	표면처리
27		PVD 2	에처, CVD 등 챔버내 부품 표면코팅
28		ALD	에처, CVD 등 챔버내 부품 표면코팅
29		Wet station (산 전용)	세라믹 표면 습식 처리
30		Wet station (염기 전용)	세라믹 표면 습식 처리
31		그린시트용 만능시험기	그린시트 물성 측정
32		입도분석기	파우더 입도 측정
	제조공정 라인 분석 장비
33		BET Analyzer	파우더 비표면적 측정
34		점도계	슬러리 점도 측정
35		통기도 측정기	그린시트 통기성 측정
36		6인치 플라즈마 식각기	플라즈마 식각율 평가
37		내전압시험기	세라믹절연소재 파괴전압측정
38		극저온챔버	영하100도 이하의 환경모사
	기본 검증 및 분석 장비
39		체적저항측정기	체적저항 및 표면저항 측정
40		LCR meter	저항, 임피던스 측정
41		극저온/고온 UTM (30kN)	극고온/저온의 접착/인장력 측정
42		극저온/고온 UTM (100kN)	극고온/저온의 기계적강도 측정
43		조도계	식각 깊이 분포
44		열팽창 측정기	열팽창, 열충격 평가